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晶圓追蹤自動識別

    競爭激烈的全球半導體行業要求對日益複雜的流程進行更嚴格的控製,從而最大化工具利用率和產量,且不能有任何誤差。貫穿於後端處理的晶圓追蹤需求對於盈利率從未如此重要。

    In-Sight® 1740 係列晶圓讀碼器可滿足此要求,它通過其極高的可靠性自動識別晶圓,從而最大限度降低人工幹預的需求並避免工具停機。無論是在新的設備上安裝還是在已有工具上改裝,In-Sight 1740 係列讀碼器都可實現 100% 的晶圓追蹤。

 Wafer ID

20 多年以來,康耐視晶圓 ID 係統設立了高讀取率和高可靠性的標準,In-Sight 1740 係列也不例外。In-Sight 1740 係列晶圓讀碼器可能很小,但卻具備了全麵的性能。單個緊湊的獨立係統中就可提供獲得高讀取率的所有需求,而且不會影響可靠性。

高級照明係統

內置了 12 種模式的軟件控製亮場和暗場照明,In-Sight 1740 係列讀碼器可對幾乎任何 ID 標記成像。超軟標記,超薄鍍層藍寶石基板 - In-Sight 1740 係列照明係統可應對這些以及更多其他挑戰。此外,隨著新型晶圓製程和塗層的開發,In-Sight 1740 係列讀碼器可通過輔助照明端口提供特殊照明支持,從而滿足新的成像挑戰需求。

亮場

                 亮場 照明

 暗場

                 暗場照明

 

 

經驗證的讀取算法

即使是最高效的照明也需要高級 ID 算法來成功讀取難於成像的晶圓上的 OCR、T7 矩陣碼和條形碼。In-Sight 1740 係列的核心是康耐視讀取算法,該算法是基於在 31,000 多個晶圓 ID 係統上安裝所獲得的經驗而開發的。這些算法經驗證是世界上最強大、最可靠的算法,可用於卷邊、CMP、模具繪製痕跡以及其他條件下的 ID 標記。


T-7 特寫  SEMI T7

圖像增強過濾器

晶圓處理的效果會對 ID 標記質量造成嚴重影響,以至於它們會拒絕甚至是最高級照明係統和軟件算法的讀取。In-Sight 1740 係列讀碼器可使用自動圖像增強過濾器克服這些視覺質量不佳問題。在大多數讀取問題嚴重的情況下,過濾器可將讀取失敗變成讀取成功,同時還可提高可靠性並降低人工幹預需求。

無 OCR 過濾器  

                                        無 OCR 過濾器

帶 OCR 過濾器  

                 帶 OCR 過濾器

更快的讀取性能

In-Sight 1740 係列的讀取速度比之前的產品係列 - 最暢銷的 In-Sight 1720 係列 - 快 40%。該功能還可用於進行更深入的處理器圖像分析,在不增加總體讀取次數的情況下提供極可靠的結果。

 

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